高純氧氣分析儀的核心原件是一個電化學氧氣傳感器。常見的電化學氧氣傳感器由一個傳感電極（或工作電極）和一個對電極組成，兩個電極間有一層薄薄的電解液。要檢測的氣體先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，最終到達電極表面。傳感器的結構設計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發生氧化/還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。
高純氧氣分析儀在測量蒸汽時先從差壓信號得到流量值，再從蒸汽溫度和壓力值表得到密度，計算蒸汽流量質量。關于氧氣分析儀安裝時雷諾數的修正，分析儀的流動系數與雷諾數呈正相關。當質量流體發生變化時，雷諾數發生反比變化，導致流動系數的變化。
氧氣分析儀的種類較多，檢測原理各異，針對性強，因此應根據不同使用場合、不同工藝狀況選擇合適的儀表。從而將各種燃燒設備的燃燒狀態控制在佳狀態，能有效地節約各種燃料（如原煤、石油、天然氣、煤氣等），控制設備平穩、經濟運行，延長設備使用壽命；同時還可降低排煙“黑度”，減少排煙粉塵和SOX等有害氣體。氧氣分析儀可監測氣體溫度和壓力等參數，且美觀大方，操作使用非常方便，得益于高性能進口傳感器，整機保持了一貫高精度、高穩定性、長壽命等優點。
